2022/11/9
碳化硅是一种无机物,化学式为 SiC,是用硅石、碳、木屑、工业盐作基本合成原料,在一种特殊的电阻炉中加热反应合成的。
碳化硅产业链涉及多个复杂技术环节,包含碳化硅粉末、碳化硅晶锭、碳化硅衬底、碳化硅外延、碳化硅晶圆、碳化硅芯片和碳化硅器件封装环节。受制于材料端的制备难度大,良率低,产能小,目前产业链重要的环节集中于衬底、外延部分,碳化硅材料的可靠性对终器件的性能有着举足轻重的意义。
衬底制造是碳化硅产业链技术壁垒高、价值量大的环节,是新近发展的宽禁带半导体的核心材料。碳化硅的衬底可以按照电阻率分为导电型衬底和半绝缘型衬底,在导电型衬底上生长 SiC 衬底制作的功率器件可以应用在新能源汽车、电网、光伏逆变器、轨道交通等高压工作场景。在半绝缘型衬底上生长 GaN 外延制作的微波射频器件主要应用在射频开关、功率放大器、滤波器等通讯场景,可以满足 5G 通讯对高频性能和高功率处理性能的要求。
碳化硅外延片,是指在碳化硅衬底上生长了一层有一定要求的、与衬底晶相同的单晶薄膜(外延层)的碳化硅片。外延工艺是整个产业中的一种非常关键的工艺,由于现在所有的器件基本上都是在外延上实现,所以外延的质量对器件的性能影响是非常大的,但是外延的质量它又受到晶体和衬底加工的影响,处在一个产业的中间环节,对产业的发展起到非常关键的作用。
功率器件是电力电子行业的重要基础元器件之一,广泛应用于电力设备的电能转化和电路控制等领域。作为用电装备和系统中的核心,功率器件的作用是实现对电能的处理、转换和控制,管理着全球超过百分之五十 的电能资源,广泛用于智能电网、新能源汽车、轨道交通、能源开发、工业电机、数据、家用电器、移动电子设备等国家经济与国民生活的方方面面,是工业体系中不可或缺的核心半导体产品。
碳化硅主要应用领域有电动汽车、充电桩、光伏新能源、轨道交通、智能电网等。Yole 数据显示,到 2025 年,全球电力电子领域碳化硅市场规模将超过 30 亿美元,较 2020 年的 7 亿美元 CAGR 超过 百分之三十七。具体到汽车应用领域,碳化硅应用于新能源车,可以降低损耗、减小模块体积重量、提升续航能力。新能源汽车技术的发展,对功率器件提出了高功率、高功率密度的要求,受益于新能源汽车的放量,SiC 器件的市场份额在新能源汽车领域将会迎来爆发增长。
碳化硅属于宽禁带半导体材料,又称为第三代半导体材料。第一代半导体材料主要是指硅(Si)、锗元素(Ge)半导体材料,应用极为普遍,包括集成电路、电子信息网络工程、电脑、手机、电视、航空航天、各类军事工程和迅速发展的新能源、硅光伏产业中都得到了为广泛的应用。
第二代半导体材料主要是指化合物半导体材料,如砷化镓(GaAs)、锑化铟(InSb),主要用于制作高速、高频、大功率以及发光电子器件(LED),是制作高性能微波、毫米波器件及发光器件的优良材料。
Si 基器件在 600V 以上高电压以及高功率场合达到其性能;为了提升在高压/高功率下器件的性能,第三代半导体材料 SiC(宽禁带)应运而生。
第三代半导体主要是 SiC 和 GaN,与一二代半导体材料相比,具有更宽的禁带宽度、更高的击穿电场、更高的热导率等性能优势,所以又叫宽禁带半导体材料,特别适用于 5G 射频器件和高电压功率器件。
以 SiC 等为代表的第三代半导体材料,将被广泛应用于光电子器件、电力电子器件等领域,以其优异的半导体性能在各个现代工业领域发挥重要作用,应用前景和市场潜力巨大。第三代半导体材料迎来爆发,碳化硅氮化镓站上了强风口,是目前商业前景明朗的半导体材料,堪称半导体产业内新一代“黄金赛道”。碳化硅量产后将打破国外垄断,成为国产芯片新突破点。
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